[1]谢俊舰,李木军,沈连婠,等.提拉法涂胶膜厚均匀性研究[J].机械与电子,2016,(07):6-10.
　XIE Junjian,LI Mujun,SHEN Lianguan,et al.[J].Machinery & Electronics,2016,(07):6-10.
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提拉法涂胶膜厚均匀性研究
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《机械与电子》[ISSN:1001-2257/CN:52-1052/TH]

卷:
期数:
2016年07期
页码:
6-10
栏目:
设计与研究
出版日期:
2016-08-01

文章信息/Info

作者:
谢俊舰；李木军；沈连婠；黄胜洲；
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系；
Author(s):
XIE Junjian;LI Mujun;SHEN Lianguan;HUANG Shengzhou;
Department of Precision Machinery and Instrumentation,University of Science and Technology of China;
关键词:
提拉法涂胶; 液膜均匀性; 数值仿真
分类号:
TG76;TB306
摘要:
针对提拉法涂胶工艺中膜厚的均匀性较难控制,影响因素很多的情况。利用流体计算软件Fluent对提拉法涂胶的整个提拉过程进行仿真,同时结合提拉法涂胶实验,探究影响液膜均匀性的2个重要因素:提拉速度和静置时间。仿真结果和实验结果均表明,提拉速度越大,液膜均匀性越差;圆柱基底放入烘箱前,在空气中放置时间越短,膜厚均匀性越好。这对优化提拉法涂胶工艺,提升膜厚均匀性均有重要的意义。

备注/Memo

备注/Memo:
【基金】国家自然科学基金(50905173)
更新日期/Last Update: 1900-01-01