[1]李明荣,王志海,毛 亮,等.三维集成封装结构热力可靠性分析[J].机械与电子,2019,(07):24-27.
 ,,et al.The Thermal Mechanical Reliability Analysis of Three-dimensional Integrated Package Structures[J].Machinery & Electronics,2019,(07):24-27.
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三维集成封装结构热力可靠性分析()
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机械与电子[ISSN:1001-2257/CN:52-1052/TH]

卷:
期数:
2019年07期
页码:
24-27
栏目:
设计与研究
出版日期:
2019-07-24

文章信息/Info

Title:
The Thermal Mechanical Reliability Analysis of Three-dimensional Integrated Package Structures
文章编号:
1001- 2257(2019)07- 0024- 04
作者:
李明荣王志海毛 亮时海涛
中国电子科技集团公司第三十八研究所,安徽 合肥 230088
Author(s):
LIMingrongWANGZhihaiMAOLiangSHIHaitao
No.38ResearchInstituteofChinaElectronicsTechnologyCorporation,Hefei230088,China
关键词:
三维集成TSV有限元分析热力耦合
Keywords:
3DIntegrationTSVfiniteelementanalysisthermo mechanicalcoupling
分类号:
TN305.94
文献标志码:
A
摘要:
针对典型 TSV 封装结构,基于有限元方法,采用 MARC软件对具有特定功能的双层芯片 基板堆叠组装微系统进行了模拟分析。通过改变基板的尺寸厚度,研究关键部位的应力场与位移场分布,从而为设计工艺提供合理可靠的方案。
Abstract:
BasedonthefiniteelementmethodandMARCsoftware,thetypicalTSVpackagestructure wassimulatedandanalyzed.Bychangingthesizeandthicknessofthesubstrate,thestressfieldanddisplacementfielddistributionofkeypartswerestudied,soastoprovideareasonableandreliableschemefor
thedesignprocess.

参考文献/References:

[1] 崔凯,王从香,胡永芳.射频微系统2.5D/3D 封装技术

发展与应用[J].电子机械工程,2016,32(6):1- 6.
[2] Lau,JohnH.Through siliconviasfor3Dintegration[M].NewYork:McGraw HillProfessionalPublishing,
2012.
[3] 夏艳.3D集成的发展现状与趋势[J].中国集成电路,
2011,20(7):23- 28.
[4] 胡杨,蔡坚,曹立强,等.系统级封装(SiP)技术研究现状
与发展趋势[J].电子工业专用设备,2012(11):1- 6,
31.
[5] 石涛.TSV 热机械应力及其对!移率的影响的研究[D].西安:西安电子科技大学,2016.
[6] LannonJ,GregoryC,Lueck M,etal.Highdensity Cu- Cuinterconnectbondingfor3 Dintegration [C]//ElectronicComponentsandTechnologyConference.IEEE,2009:355- 359.
[7] 张昆.面向三维封装的铜互连技术研究[D].武汉:华中科技大学,2014.
[8] 朱健.3D堆叠技术及 TSV 技术[J].固体电子学研究与进展,2012,32(1):73- 77,94.
[9] 王多笑,邬玉亭,褚家如.低温阳极键合技术研究[J].传感器技术,2005,24(9):37- 39.
[10] 王宏明.应用于三维叠层封装的硅通孔(TSV)建模及传热 和加载分析 [D].西 安:西 安 电 子 科 技 大 学,2012.

备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期:2018- 12- 28
作者简介:李明荣 (1963-),男,江苏苏州人,硕士,研究员,主要从事雷达结构总体设计、机电热一体化设计及评估、抗力学强度设计与
优化等相关工作。
更新日期/Last Update: 2019-10-21