[1]杨 琛,李木军.残余层对紫外光滚动压印脱模质量影响的有限元分析[J].机械与电子,2019,(08):8-11.
 .The Finite Element Analysis on the Effect of Residual Layer on the UV Roll-to-roll[J].Machinery & Electronics,2019,(08):8-11.
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残余层对紫外光滚动压印脱模质量影响的有限元分析()
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机械与电子[ISSN:1001-2257/CN:52-1052/TH]

卷:
期数:
2019年08期
页码:
8-11
栏目:
设计与研究
出版日期:
2019-08-24

文章信息/Info

Title:
The Finite Element Analysis on the Effect of  Residual Layer on the UV Roll-to-roll
文章编号:
1001- 2257(2019)08- 0008- 04
作者:
杨 琛李木军
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽 合肥 230026
Author(s):
YANGChenLIMujun
DepartmentofPrecisionMachineryandInstrumentation,UniversityofScienceandTechnologyofChina,Hefei230026,China
关键词:
紫外光滚动压印脱模残余层数值仿真
Keywords:
UVroll to rollimprintlithographydemoldingresiduallayernumericalsimulation
分类号:
TH164
文献标志码:
A
摘要:
通过利用 ABAQUS软件,对不同厚度的残余层对紫外光滚动压印脱模过程的影响进行了研究。通过理论计算,残余层可以减少脱模过程中结构的应力集中和最大应力。随着残余层厚度的增加,残余层对于脱模的改善作用有所不同,仿真结果得出了一个最佳的残余层厚度来提高滚动压印的脱模过程。引入残余层来提高滚动压印脱模质量提供了一个紫外光滚动压印技术的新思路。
Abstract:
TheeffectoftheresiduallayerwithdifferentthicknessonthedemoldingprocessofUVroll to rollimprintlithographywerestudiedusingABAQUSsoftware.Throughsimulation,thestressconcentrationandthemaximumstressinthedemoldingprocessisreducedbytheresiduallayer.Theeffectof theresiduallayerondemoldingvariesasthicknessincreases.Thesimulationresultssignifythattheresiduallayerwiththemostoptimalthicknesscanbeselectedtoimprovethedemoldingprocess.Inconclusion, theresiduall

参考文献/References:

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备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期:2019- 05- 05
基金项目:国家自然科学基金(51475442)
作者简介:杨 琛 (1993-),男,内蒙古鄂尔多斯人,硕士研究生,研究方向为微细加工技术;李木军 (1976-),男,广东茂名人,副教授,研究方向为微纳结构设计、应用及其非常规加工技术。
更新日期/Last Update: 2019-10-15