[1]杨恩龙,殷 展,魏 毅,等.MEMS 高温压阻式压力传感器闭环控制方法[J].机械与电子,2023,41(12):27-30.
 YANG Enlong,YIN Zhan,WEI Yi,et al.Closed-loop Control Method of MEMS High Temperature Piezoresistive Pressure Sensor[J].Machinery & Electronics,2023,41(12):27-30.
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MEMS 高温压阻式压力传感器闭环控制方法()
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《机械与电子》[ISSN:1001-2257/CN:52-1052/TH]

卷:
41
期数:
2023年12期
页码:
27-30
栏目:
自动控制与检测
出版日期:
2023-12-30

文章信息/Info

Title:
Closed-loop Control Method of MEMS High Temperature Piezoresistive Pressure Sensor
文章编号:
1001-2257 ( 2023 ) 12-0027-04
作者:
杨恩龙殷 展魏 毅杨清海
国网上海市电力公司嘉定供电公司,上海 201800
Author(s):
YANG Enlong YIN Zhan WEI Yi YANG Qinghai
( Jiading Power Supply , State Grid Shanghai Electric Power Company , Shanghai 201800 , China )
关键词:
MEMS 高温压阻式压力传感器变谐效应分析二元差值算法误差补偿闭环控制
Keywords:
MEMS high temperature piezoresistive pressure sensor variable harmonic effect analysis binary difference algorithm error compensation closed-loop control
分类号:
TP212.1
文献标志码:
A
摘要:
为提高 MEMS 高温压阻式压力传感器的整体性能,提出一种 MEMS 高温压阻式压力传感器闭环控制方法。明确 MEMS 高温压阻式压力传感器在工作过程中产生的变谐效应,分析了静电驱动和电容检测。根据分析结果设计出闭环控制策略,在闭环控制过程中采用二元差值算法补偿传感器的温度误差,提高控制精度。通过灵敏度校准和零点失调校准,实现了 MEMS 高温压阻式压力传感器的闭环控制。试验结果表明,所提方法的控制精度高、信号采集准确率高及控制性能好。
Abstract:
In order to improve the overall performance of MEMS high temperature piezoresistive pressure sensor , a closed-loop control method of MEMS high temperature piezoresistive pressure sensor is proposed.The harmonic effect of MEMS high temperature piezoresistive pressure sensor in the working process is clarified , and the electrostatic driving and capacitance detection are analyzed.According to the analysis results , the closed-loop control strategy is designed.In the closed-loop control process , the binary difference algorithm is used to compensate the temperature error of the sensor and improve the control accuracy.Through sensitivity calibration and zero offset calibration , the closed-loop control of MEMS high temperature piezoresistive pressure sensor is realized.The experimental results show that the proposed method has high control accuracy , high signal acquisition accuracy and good control performance.

参考文献/References:

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备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期: 2022-05-24
基金项目:国家电网有限公司科技项目( SGSHJD00BGJS2101991 )
作者简介:杨恩龙 ( 1978- ),男,上海嘉定人,高级工程师,研究方向为电力系统及其自动化;殷 展 ( 1982- ),男,江苏盐都人,硕士,高级工程师,研究方向为电网建设项目管理;魏 毅 ( 1985- ),男,浙江余姚人,工程师,研究方向为电网建设施工管理;杨清海 ( 1989- ),男,河南开封人,博士,工程师,研究方向为建筑空间流体及空气净化。
更新日期/Last Update: 2024-01-10