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    关键词中包括 MEMS 的文章

1 U 型电热微驱动器温度分布方程模型
赵海龙,王新杰 2019年11期 [25-29][摘要](11391)()
DOI:
2 MEMS陀螺零偏温度补偿
贾勇,马戎,李岁劳 2019年03期 [18-21][摘要](12575)()
DOI:
3 体内微机电无线能量传输系统性能仿真与实验研究
刘修泉1,李艳红1,黄平2 2016年03期 [13-15,19][摘要](11450)(92)
DOI: