[1]王成,罗福源,李璇.基于电流概率的半导体线切割往复渐进式模糊控制[J].机械与电子,2016,(02):46-49.
　WANG Cheng,LUO Fuyuan,LI Xuan.Fuzzy Control of Reciprocating Progressive Movement in Semiconductor WEDM Based on Current Probability[J].Machinery & Electronics,2016,(02):46-49.
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基于电流概率的半导体线切割往复渐进式模糊控制
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《机械与电子》[ISSN:1001-2257/CN:52-1052/TH]

卷:
期数:
2016年02期
页码:
46-49
栏目:
自动控制与检测
出版日期:
2016-02-25

文章信息/Info

Title:
Fuzzy Control of Reciprocating Progressive Movement in Semiconductor WEDM Based on Current Probability
作者:
王成 ; 罗福源; 李璇
（南京航空航天大学机电学院，江苏 南京 210016）
Author(s):
WANG Cheng;  LUO Fuyuan;  LI Xuan
（College of Mechanical and Electrical Engineering ,Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210016,China）
关键词:
半导体; 电火花线切割; 模糊控制; 往复渐进式运动
Keywords:
semiconductor;  WEDM;  fuzzy control;  feed-regression-feed movement
分类号:
TG661
文献标志码:
A
摘要:
在应用电火花线切割技术切割半导体材料时，工具电极与工件之间的放电状态主要有空载、正常放电和短路3种状态。由于半导体电阻率较高，正常放电状态与短路状态的电压电流特性相似，难以区别，现提出基于电流脉冲概率模糊控制策略，解决正常状态和短路状态的无法鉴别问题。利用直线电机的高频响应特性，采用模糊控制算法控制工件“进给-回退-再进给”往复渐进式向前运动,并通过实验证明了此算法可以稳定实现速度的伺服控制，有效地改善表面质量。
Abstract:
In the application of wire electrical discharge cutting (WEDM) technology in cutting semiconductor materials, the discharge state of the tool electrode and the workpiece mainly includes no-load, normal discharge and short circuit. Due to the high resistivity of semiconductors, the voltage and current characteristics of normal discharge state and short-circuit state are quite similar, and it is difficult to distinguish them. For this, fuzzy control algorithm is adopted to control the workpiece "feed-regression-feed" movement based on the linear motor's high frequency response characteristics. And the experiment results show that the algorithm can achieve servo control of speed and improve the surface quality effectively.

参考文献/References:

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[8]李士勇,模糊控制[M].哈尔滨：哈尔滨工业大学出版社,2011.

备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期：2015-11-04
基金项目：国家自然科学基金青年基金（51205200)
作者简介：王成（1990-），男，江苏徐州人，硕士研究生，研究方向为数控技术及应用；罗福源（1976-），男，副教授，研究方向为数控技术与装备、自动化控制。
更新日期/Last Update: 2016-02-25